美国SRS CIS系列封闭离子源式质谱仪 CIS系列封闭离子源式质谱仪 • 100，200 和300amu 系统 • 1 ppm 的检测

美国SRS PPR系列过程检测系统 主要应用：真空在线检测；高真空成份分析；MOCVD 等在线过程监控；10mTorr-10Torr 真空度内反应过程检测等等

美国SRS QMS系列四极质谱仪 QMS系列四极质谱仪 一个高效，低成本的宽范围的质谱分析仪。广泛的有效应用，具有高性价比的解决方案，这个质谱分析简化了在线过程检测和气体分析，泄漏检测和故障诊断分析等实验。

美国SRS UGA系列大气分析设备 UGA系统自带windows 软件，实时采集数据和图形化显示，操作方便快捷。软件功能中包含模拟的柱状扫描模式、压力和时间关系图、检漏测试、气体分析和在线分析。标准的GPIB 和RS232 接口方便与计算机连接控制。

美国SRS RGA系列残余气体分析仪 RGA系列残余气体分析仪可以定量和定性分析出真空腔中残余气体的浓度和成分。