美国SRS PPR系列过程检测系统

美国SRS PPR系列过程检测系统

主要应用：真空在线检测；高真空成份分析；MOCVD 等在线过程监控；10mTorr-10Torr 真空度内反应过程检测等等

PPR过程监控系统是过程监测和诊断的真空检测仪。两种不同的进气路径提供给残余气体分析仪（RGA）：一路高压进气模式用来检测基本真空，一路分压模式用来检测过程压力。压力减少路径包含一个微小孔径，其目的是使运行压力工作在0.01，0.1，1或10Torr。 它使待测压力环境满足RGA的工作要求约10-6 Torr。 这种压力控制系统是由涡轮分子的混合泵和隔膜甭组成。 两台泵为无油工作，不会污染您的操作系统。
PPR进气接口链接到被检测的过程检测系统有几种方法。 该系统包括RGA，旁通阀和三通，控制器，涡轮泵，隔膜泵，和Windows 软件程序进行数据采集和控制。
该软件可用于多种模式，包括模拟扫描，直方图模式，压力与时间模式。双路法拉第杯和电子倍增器检测器，电子倍增器提供更高的灵敏度和较高的扫描速度。PPR系统出厂时组装校准，可便捷的连接到真空系统中。

主要应用：真空在线检测；高真空成份分析；MOCVD 等在线过程监控；10mTorr-10Torr 真空度内反应过程检测等等

主要性能

• 0.01, 0.1, 1.0 或 10 Torr进口压力

• 3 × 10-5 Torr-L/s流量

• 2秒的响应时间(0.1Torr)

• 100、200或300amu系统

• 现场可替换的电子培增管和灯丝

• 6个数量级动态范围