光炎量子效率分析仪光传感器晶圆测试仪

简要描述：SG-O光炎量子效率分析仪光传感器晶圆测试仪是一款CIS/ALS/Light-Sensor晶圆测试仪，它结合了高度均匀的光源和半自动晶圆探测器。

产品型号： SG-O

所属分类：光焱量子效率测量系统

更新时间：2024-10-10

厂商性质：经销商

详情介绍

品牌	其他品牌	应用领域	医疗卫生,化工,生物产业,能源,电子

提供您在CIS/ALS/光传感器晶圆级测试中所需的一切。

SG-O光炎量子效率分析仪光传感器晶圆测试仪是一款CIS/ALS/Light-Sensor晶圆测试仪，它结合了高度均匀的光源和半自动晶圆探测器。高度均匀光源可以提供从400nm到1700nm的连续白光光谱，以及在许多不同波长下具有一定FWHM的单色光输出。探测器可以处理大。200mm晶圆尺寸和尺寸大于1cmx1cm的单芯片。SG-O集成了超低噪音热卡盘，可提供 -60°C至180°C的温度范围，具有快速的升温速度和稳定性。SG-O提供您在CIS/ALS/光传感器设计验证或工艺良率检查中所需的一切。

SG-O光炎量子效率分析仪光传感器晶圆测试仪特点：

●高度均匀的光源

从 UV 到 SWIR 的宽光谱范围

超过50mmx50mm区域的高度均匀性超过98%

超稳定光强度，可维持不稳定性<0.2%长达10小时以上

高光强动态范围，高达140dB

●可编程自动探测器

200mm~10mm晶圆或芯片处理能力

用于准确可靠的DC / CV、RF测量

稳定的功能显微镜系统

整合硬件控制面板

自动晶圆装载机

智能晶圆映射

●宽温低噪音卡盘

模块化卡盘

-80°C至180°C的宽温度范围

*CDA热控制技术，高斜坡率和高T稳定性

用于CIS/ALS/光传感器晶圆测试的超低噪声

应用：

CIS/ALS/光传感器晶圆测试

CIS/ALS/光传感器晶圆映射和良率检查

ToF传感器测试

激光雷达传感器测试

InGaAs PD测试

SPAD传感器测试

光传感器模拟参数测试：

量子效率

光谱响应

系统增益

灵敏度

动态范围

暗电流/噪声

信噪比

饱和容量

线性误差（LE）

DCNU（暗电流非均匀性）

PRNU（光响应非均匀性）

系统设计：

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor测试仪（晶圆级）系统图。高度均匀的光源由PC-1控制。光输出由光纤引导到光学均化器以产生均匀的光束。显微镜和均质器由PC-1的自动平移台控制，以切换位置和功能。Prober系统为MPI TS2000，由PC-2 控制。卡盘台的位置也由PC-2控制。热卡盘温度可控制在-55℃至180℃，涵盖了大部分 IC测试温度范围。光强度由一个Si 光电探测器和一个InGaAs光电探测器通过皮安电流表检测和校准。

规格：

高度均匀的光源

光谱范围：400nm至1700nm

色温：3000K至5200K

均匀照明面积：42mmx25mm，工作距离>200mm

照度均匀度：优于98%

短期光不稳定性：≤1%超过1小时

长期光不稳定性：≤1%超过10小时

DUT与后一个光学组件之间的工作距离：≥200mm工作距离

单色光生成：

10nm FWHM 中心波长：420nm,450nm,490nm,510nm,550nm,570nm,620nm,670nm,680nm,710nm,780nm,870nm

25nm FWHM 中心波长：1010nm,1250nm,1450nm

45±5nm FWHM 中心波长：815nm

50nm FWHM 的中心波长：1600nm

60±5nm FWHM 中心波长：650nm

70±5nm FWHM 的中心波长：485nm,555nm

100±5nm FWHM 的中心波长：1600nm

带外透光率≤0.01%

带通区峰值传输≥80%

中心波长容差：(a)≤±2nm；(b)~(g)≤±5nm

FWHM容差：(a)≤±2nm；(b)~(g)≤±5nm

可变衰减器：PC控制的3-decade分辨率，至少1000步

半自动晶圆探针

晶圆尺寸能力：200mm、150mm、100mm晶圆和尺寸大于1cmx1cm的单芯片

晶圆处理：单晶圆，手动进料型

半自动化：一步手动对准教和自动模步进

XYZ 平台

卡盘 XY 载物台行程：210mmx300mm

卡盘 XY 平台分辨率：优于0.5um

夹头 XY 平台精度：优于2.0um

卡盘 XY 平台速度：慢：10微米/秒，快：50毫米/秒

Chuck Z 载物台行程：50mm

Chuck Z 平台分辨率：0.2um

卡盘 Z 平台精度：±2.0um

Theta平台

Theta载物台行程：±5度运动范围

Theta分辨率：优于0.01度

Theta精度：0.1度

卡盘

卡盘平整度≤10um

卡盘热操作：-60°C至200°C

25°C时的卡盘泄漏：25°C时在10V偏压下每个电压≤20fA

卡盘剩余电容≤95fF

探针卡

探针卡尺寸：4.5英寸至8英寸长

探针卡座与压板之间的间隙：≥7.5mm

微型腔室

EMI屏蔽：在 1kHz 至 1MHz 范围内≥30dB

系统交流噪声：≤ 5mVp -p

微型定位器

显微镜

隔振台

光谱辐照度计

光谱范围：400nm至1600nm

波长分辨率：400nm到1000nm 增加步长<1nm；1000nm到1600nm 增加步长<3.5nm

校准：NIST可追溯校准证书

主要表现

SG-O系统的操作软件。对于高度均匀光源控制软件，SG-O提供光源系统控制和光强测量。提供了各个光学组件的 Labview功能调色板、驱动程序/DLL文件。该软件控制所述平移台以促进照射大是在零件的设备。集成链接的整合包括发送/接收命令，例如芯片步进、芯片对齐/探测等。

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