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SG-O 是一款 CIS /ALS / Light-Sensor 晶圆测试仪,它结合了高度均匀的光源和半自动晶圆探测器。高度均匀光源可以提供从 400nm 到 1700nm 的连续白光光谱,以及在许多不同波长下具有一定 FWHM 的单色光输出。探测器可以处理大。200mm 晶圆尺寸和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片。SG-O 集成了超低噪音热卡盘,可提供 -60°C 至 180°C 的温度范围,具有快速的升温速度和稳定性。SG-O 提供您在 CIS / ALS / 光传感器设计验证或工艺良率检查中所需的一切。
特点
应用
CIS / ALS / 光传感器晶圆测试
CIS / ALS / 光传感器晶圆映射和良率检查
ToF 传感器测试
激光雷达传感器测试
InGaAs PD 测试
SPAD 传感器测试
光传感器模拟参数测试:
量子效率
光谱响应
系统增益
灵敏度
动态范围
暗电流/噪声
信噪比
饱和容量
线性误差(LE)
DCNU(暗电流非均匀性)
PRNU(光响应非均匀性)
系统设计
SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 测试仪(晶圆级)系统图。高度均匀的光源由 PC-1 控制。光输出由光纤引导到光学均化器以产生均匀的光束。显微镜和均质器由 PC-1 的自动平移台控制,以切换位置和功能。Prober 系统为 MPI TS2000,由 PC-2 控制。卡盘台的位置也由 PC-2 控制。热卡盘温度可控制在 -55 ℃ 至180 ℃ ,涵盖了大部分 IC 测试温度范围。光强度由一个 Si 光电探测器和一个 InGaAs 光电探测器通过皮安电流表检测和校准。
规格
10nm FWHM 中心波长:420nm, 450nm, 490nm, 510nm, 550nm, 570nm, 620nm, 670nm, 680nm, 710nm, 780nm, 870nm
25nm FWHM 中心波长:1010nm, 1250nm, 1450nm
45±5nm FWHM 中心波长: 815nm
50nm FWHM 的中心波长:1600nm
60±5nm FWHM 中心波长:650nm
70±5nm FWHM 的中心波长:485nm, 555nm
100±5nm FWHM 的中心波长:1600nm
带外透光率 ≤ 0.01%
带通区峰值传输 ≥ 80%
中心波长容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm
FWHM 容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm
主要表现
SG-O 系统的操作软件。对于高度均匀光源控制软件,SG-O 提供光源系统控制和光强测量。提供了各个光学组件的 Labview 功能调色板、驱动程序 / DLL 文件。该软件控制所述平移台以促进照射大是在零件的设备。集成链接的整合包括发送 / 接收命令,例如芯片步进、芯片对齐 / 探测等。