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提供您在CIS/ALS/光传感器晶圆级测试中所需的一切。
SG-O光炎量子效率分析仪光传感器晶圆测试仪是一款CIS/ALS/Light-Sensor晶圆测试仪,它结合了高度均匀的光源和半自动晶圆探测器。高度均匀光源可以提供从400nm到1700nm的连续白光光谱,以及在许多不同波长下具有一定FWHM的单色光输出。探测器可以处理大。200mm晶圆尺寸和尺寸大于1cmx1cm的单芯片。SG-O集成了超低噪音热卡盘,可提供 -60°C至180°C的温度范围,具有快速的升温速度和稳定性。SG-O提供您在CIS/ALS/光传感器设计验证或工艺良率检查中所需的一切。
SG-O光炎量子效率分析仪光传感器晶圆测试仪特点:
●高度均匀的光源
从 UV 到 SWIR 的宽光谱范围
超过50mmx50mm区域的高度均匀性超过98%
超稳定光强度,可维持不稳定性<0.2%长达10小时以上
高光强动态范围,高达140dB
●可编程自动探测器
200mm~10mm晶圆或芯片处理能力
用于准确可靠的DC / CV、RF测量
稳定的功能显微镜系统
整合硬件控制面板
自动晶圆装载机
智能晶圆映射
●宽温低噪音卡盘
模块化卡盘
-80°C至180°C的宽温度范围
*CDA热控制技术,高斜坡率和高T稳定性
用于CIS/ALS/光传感器晶圆测试的超低噪声
应用:
CIS/ALS/光传感器晶圆测试
CIS/ALS/光传感器晶圆映射和良率检查
ToF传感器测试
激光雷达传感器测试
InGaAs PD测试
SPAD传感器测试
光传感器模拟参数测试:
量子效率
光谱响应
系统增益
灵敏度
动态范围
暗电流/噪声
信噪比
饱和容量
线性误差(LE)
DCNU(暗电流非均匀性)
PRNU(光响应非均匀性)
系统设计:
SG-O CIS / ALS / Light-Sensor测试仪(晶圆级)系统图。高度均匀的光源由PC-1控制。光输出由光纤引导到光学均化器以产生均匀的光束。显微镜和均质器由PC-1的自动平移台控制,以切换位置和功能。Prober系统为MPI TS2000,由PC-2 控制。卡盘台的位置也由PC-2控制。热卡盘温度可控制在-55℃至180℃,涵盖了大部分 IC测试温度范围。光强度由一个Si 光电探测器和一个InGaAs光电探测器通过皮安电流表检测和校准。
规格:
高度均匀的光源
光谱范围:400nm至1700nm
色温:3000K至5200K
均匀照明面积:42mmx25mm,工作距离>200mm
照度均匀度:优于98%
短期光不稳定性:≤1%超过1小时
长期光不稳定性:≤1%超过10小时
DUT与后一个光学组件之间的工作距离:≥200mm工作距离
单色光生成:
10nm FWHM 中心波长:420nm,450nm,490nm,510nm,550nm,570nm,620nm,670nm,680nm,710nm,780nm,870nm
25nm FWHM 中心波长:1010nm,1250nm,1450nm
45±5nm FWHM 中心波长:815nm
50nm FWHM 的中心波长:1600nm
60±5nm FWHM 中心波长:650nm
70±5nm FWHM 的中心波长:485nm,555nm
100±5nm FWHM 的中心波长:1600nm
带外透光率≤0.01%
带通区峰值传输≥80%
中心波长容差:(a)≤±2nm;(b)~(g)≤±5nm
FWHM容差:(a)≤±2nm;(b)~(g)≤±5nm
可变衰减器:PC控制的3-decade分辨率,至少1000步
半自动晶圆探针
晶圆尺寸能力:200mm、150mm、100mm晶圆和尺寸大于1cmx1cm的单芯片
晶圆处理:单晶圆,手动进料型
半自动化:一步手动对准教和自动模步进
XYZ 平台
卡盘 XY 载物台行程:210mmx300mm
卡盘 XY 平台分辨率:优于0.5um
夹头 XY 平台精度:优于2.0um
卡盘 XY 平台速度:慢:10微米/秒,快:50毫米/秒
Chuck Z 载物台行程:50mm
Chuck Z 平台分辨率:0.2um
卡盘 Z 平台精度:±2.0um
Theta平台
Theta载物台行程:±5度运动范围
Theta分辨率:优于0.01度
Theta精度:0.1度
卡盘
卡盘平整度≤10um
卡盘热操作:-60°C至200°C
25°C时的卡盘泄漏:25°C时在10V偏压下每个电压≤20fA
卡盘剩余电容≤95fF
探针卡
探针卡尺寸:4.5英寸至8英寸长
探针卡座与压板之间的间隙:≥7.5mm
微型腔室
EMI屏蔽:在 1kHz 至 1MHz 范围内≥30dB
系统交流噪声:≤ 5mVp -p
微型定位器
显微镜
隔振台
光谱辐照度计
光谱范围:400nm至1600nm
波长分辨率:400nm到1000nm 增加步长<1nm;1000nm到1600nm 增加步长<3.5nm
校准:NIST可追溯校准证书
主要表现
SG-O系统的操作软件。对于高度均匀光源控制软件,SG-O提供光源系统控制和光强测量。提供了各个光学组件的 Labview功能调色板、驱动程序/DLL文件。该软件控制所述平移台以促进照射大是在零件的设备。集成链接的整合包括发送/接收命令,例如芯片步进、芯片对齐/探测等。