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光炎量子效率分析仪光传感器晶圆测试仪

光炎量子效率分析仪光传感器晶圆测试仪

简要描述:光炎量子效率分析仪光传感器晶圆测试仪是一款 CIS /ALS / Light-Sensor 晶圆测试仪,它结合了高度均匀的光源和半自动晶圆探测器。

产品型号: SG-O

所属分类:光焱量子效率分析仪

更新时间:2021-11-19

厂商性质:经销商

详情介绍
品牌自营品牌应用领域医疗卫生,化工,生物产业,能源,电子

提供您在 CIS / ALS / 光传感器晶圆级测试中所需的一切。

SG-O 是一款 CIS /ALS / Light-Sensor 晶圆测试仪,它结合了高度均匀的光源和半自动晶圆探测器。高度均匀光源可以提供从 400nm 到 1700nm 的连续白光光谱,以及在许多不同波长下具有一定 FWHM 的单色光输出。探测器可以处理大。200mm 晶圆尺寸和尺寸大于 1cm x 1cm 的单芯片。SG-O 集成了超低噪音热卡盘,可提供 -60°C 至 180°C 的温度范围,具有快速的升温速度和稳定性。SG-O 提供您在 CIS / ALS / 光传感器设计验证或工艺良率检查中所需的一切。

特点


高度均匀的光源

  • 从 UV 到 SWIR 的宽光谱范围

  • 超过 50mm x 50mm 区域的高度均匀性超过 98%

  • 超稳定光强度,可维持不稳定性 < 0.2% 长达10小时以上

  • 高光强动态范围,高达 140dB

可编程自动探测器

宽温低噪音卡盘

应用


  • CIS / ALS / 光传感器晶圆测试

  • CIS / ALS / 光传感器晶圆映射和良率检查

  • ToF 传感器测试

  • 激光雷达传感器测试

  • InGaAs PD 测试

  • SPAD 传感器测试

  • 光传感器模拟参数测试:

    1. 量子效率

    2. 光谱响应

    3. 系统增益

    4. 灵敏度

    5. 动态范围

    6. 暗电流/噪声

    7. 信噪比

    8. 饱和容量

    9. 线性误差(LE)

    10. DCNU(暗电流非均匀性)

    11. PRNU(光响应非均匀性)

系统设计

SG-O CIS / ALS / Light-Sensor 测试仪(晶圆级)系统图。高度均匀的光源由 PC-1 控制。光输出由光纤引导到光学均化器以产生均匀的光束。显微镜和均质器由 PC-1 的自动平移台控制,以切换位置和功能。Prober 系统为 MPI TS2000,由 PC-2 控制。卡盘台的位置也由 PC-2 控制。热卡盘温度可控制在 -55 ℃ 至180 ℃ ,涵盖了大部分 IC 测试温度范围。光强度由一个 Si 光电探测器和一个 InGaAs 光电探测器通过皮安电流表检测和校准。

规格


高度均匀的光源
  1. 10nm FWHM 中心波长:420nm, 450nm, 490nm, 510nm, 550nm, 570nm, 620nm, 670nm, 680nm, 710nm, 780nm, 870nm

  2. 25nm FWHM 中心波长:1010nm, 1250nm, 1450nm

  3. 45±5nm FWHM 中心波长: 815nm

  4. 50nm FWHM 的中心波长:1600nm

  5. 60±5nm FWHM 中心波长:650nm

  6. 70±5nm FWHM 的中心波长:485nm, 555nm

  7. 100±5nm FWHM 的中心波长:1600nm

    • 带外透光率 ≤ 0.01%

    • 带通区峰值传输 ≥ 80%

    • 中心波长容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm

    • FWHM 容差:(a) ≤ ±2nm;(b)~(g) ≤ ±5nm

  • 可变衰减器:PC 控制的 3-decade 分辨率,至少 1000步

半自动晶圆探针

光谱辐照度计

主要表现

SG-O 系统的操作软件。对于高度均匀光源控制软件,SG-O 提供光源系统控制和光强测量。提供了各个光学组件的 Labview 功能调色板、驱动程序 / DLL 文件。该软件控制所述平移台以促进照射大是在零件的设备。集成链接的整合包括发送 / 接收命令,例如芯片步进、芯片对齐 / 探测等。



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