品牌 | 其他品牌 | 应用领域 | 医疗卫生,化工,生物产业,能源,电子 |
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激光扫描缺陷影像仪,是激光束诱导电流测试(LBIC)的升级版,利用波长能量大于半导体能隙大的激光束,照射在半导体后产生的电子-空穴对,通过快速的扫描样品表面,获得影像分布,可以得到内部电流的变化来了解分析各种的缺陷分布,帮助分析样品制备质量以及帮助工艺改进。
型号 | 项目 | 规格 |
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1-1 | 激发波长 | a. 405 ± 5 nm(高可扩充至 4 个雷射) b. 多波长切换设计 c. 可软件控制输出波长 |
1-2 | 激光光点 | a. TEM00 光斑 b. 单一波长光斑 < 100 um c. 全系列波长 < 200 um |
1-3 | 扫描范围 | a. 扫描面积:10 cm x 10 cm b. 可客制超过 16 cm x 16 cm之扫描范围 |
1-4 | 扫描分辨率 | a. 扫描分辨率 - 10 um, ? 20 mm x 20 mm - 50 um, ? 100 mm x 100 mm b. 扫描频率 - 10 Hz, 25 Hz及 50 Hz - 10 Hz, ? 4,000,000 像素 c. 可由软件设定扫描分辨率 |
1-5 | 讯号量测模块 | a. 16 bit A/D 解析能力 b. S/N 可达>1000 以上 c. 超低噪声放大器模块 |
1-6 | 量测时间 | a. <1 mins (For 20 mm x 20 mm with 50 um resolution) b. <13 mins (For 160 mm x 160 mm with 50 um resolution) |
1-7 | 尺寸 | 60 cm x 60 cm x 100 cm |
1-8 | 测量分析软件 | a. 激发波长切换 b. 雷射功率调整 c. LBIC 3D 图示 d. 2D 剖面分析(电深宽度比) e. 光电流回应分布分析(搭配长波长激光器) f. 数据保存与输出功能 |
1-9 | 计算机系统 | a. x86 兼容计算器包含屏幕键盘与鼠标 b. 微软操作系统 |
1-10 | 选购项目1: 连续光雷射 | a. 可添加 375 nm/ 450 nm/ 520 nm/ 638 nm/ 650 nm/ 780 nm ± 5 nm b. b. 小功率:50 mW c. TEM00 输出 d. 功率输出稳定度:<2 % |
1-11 | 选购项目2: 外加偏压功能 | a. 可施加偏压(0~5 V)(可扩充更大电压范围) b. 软件控制(选配) |
● 可扫描光电流在样品表面的分布图像
● 可扫描各光电压在样品表面的分布图像
● 可扫描开路电压与短路电流分布
● 可分析表面脏污。
● 可分析短路区域分布
● 可辨识分析隐裂区域。
● 可分析少数载子扩散长度分布 (选配)
● 可做单波长量子效率 Mapping