沈阳科晶GSL-1100X-XX-S大口径管式炉

简要描述：沈阳科晶GSL-1100X-XX-S大口径管式炉是一款双混区的大口径管式炉,炉管两壷安装有狡链式不锈钢密封法兰。此款管式炉可广泛地应用于在真空或气氛保护环境下对材料迸行烧结或退火等热处理。温控方面，设备可达到高温度为1100°。可设置30段升降温程序，控温精度为T-1°U

产品型号：

所属分类：沈阳科晶

更新时间：2023-08-02

厂商性质：经销商

详情介绍

产品简介：GSL-1100X-XX-S是一款双混区的大口径管式炉,炉管两壷安装有狡链式不锈钢密封法兰。此款管式炉可广泛地应用于在真空或气氛保护环境下对材料迸行烧结或退火等热处理。温控方面，设备可达到高温度为1100°。可设置30段升降温程序，控温精度为T-1°U

产品型号

GSL-1100X-6-S2

GSL-1100X-8.5-S2

GSL-1100X-11-S2

安装条件

本设笛要求在海拔1000m以下，温度25°C±15°C,湿度55%Rh±1O%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz,必须有良好接地

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头.可自耍改制成为双卡套接头）

4, 工作台：R\T600mmx600mmx700mm,承重200kg以上

5、通风装豊：需要。

主要特点

炉体结构

设备中配有2个氧化铝管堵，设备使用时必须把管堵塞入到炉管两靖（恒温区和密封圈的密封性）

高纯氧化铝纤维作为炉膛材料（表面涂有高混氧化铝涂层，可提高加热效率延长炉膛使用寿命）

该炉可作为退火或扩散炉，大可用于8"晶片放在对应石英舟中密封法兰

采用较链式法兰和。形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr （参考值）

可选购一莫温度测试装置（铠装热偶、补偿导线和温度仪表）.用于测试炉管内部的温度